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“集成電路與傳感器集成制造與生產(chǎn)技術(shù)”通過驗(yàn)收

字體: 放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2018-02-23  來源:中國儀表網(wǎng)  瀏覽次數(shù):912


       2018年1月31日,由江蘇無錫華潤上華科技有限公司與北京大學(xué)、東南大學(xué)、江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心、中科院上海微系統(tǒng)所等8家單位聯(lián)合承擔(dān)的國家02科技重大專項(xiàng) “集成電路與傳感器集成制造與生產(chǎn)技術(shù)” 項(xiàng)目(簡稱“MEMS專項(xiàng)”)在無錫華潤微電子通過項(xiàng)目正式驗(yàn)收。

 

 
  MEMS專項(xiàng)的主要研究任務(wù)和目標(biāo)是重點(diǎn)開展集成電路與傳感器集成制造(包括芯片與MEMS制造和系統(tǒng)封裝)技術(shù)研發(fā),解決并掌握與CMOS工藝線兼容的MEMS規(guī)模制造的系列關(guān)鍵技術(shù)、集成產(chǎn)品設(shè)計(jì)與封裝技術(shù)。建立專業(yè)化、具有規(guī)模化生產(chǎn)能力的硅基集成電路與MEMS傳感器開放代工平臺(tái),實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn),成為我國集成電路與傳感器集成制造、生產(chǎn)與服務(wù)中心,為“感知中國”建設(shè)發(fā)揮核心支撐平臺(tái)作用。
 
  在國家02科技重大專項(xiàng)的大力支持下,MEMS專項(xiàng)通過產(chǎn)學(xué)研用的聯(lián)合、完整產(chǎn)業(yè)鏈垂直整合的方式,突破多項(xiàng)MEMS傳感器加工工藝的技術(shù)難點(diǎn),解決了制約我國MEMS規(guī)模生產(chǎn)的工藝一致性、穩(wěn)定性差的關(guān)鍵問題,成功建立國內(nèi)首個(gè)與CMOS兼容的MEMS專業(yè)代工規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)線,以壓力傳感器、硅麥克風(fēng)、紅外傳感器等為代表的六大量產(chǎn)工藝平臺(tái)總產(chǎn)出晶圓數(shù)超6萬片,培育了20多家國內(nèi)MEMS設(shè)計(jì)公司。通過項(xiàng)目的實(shí)施,還培養(yǎng)了一支層次高、專業(yè)技術(shù)能力強(qiáng)的人才隊(duì)伍,累計(jì)共申請(qǐng)了發(fā)明專利316件(其中國際專利27件),已授權(quán)165件(其中國際專利5件),建立了MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái),以及MEMS封裝及測試服務(wù)平臺(tái),為促進(jìn)我國MEMS自主研發(fā)體系的發(fā)展提供了很好的技術(shù)基礎(chǔ)。
 
  專項(xiàng)驗(yàn)收會(huì)議由中央候補(bǔ)委員、02專項(xiàng)辦副總師王曦院士主持,02專項(xiàng)辦總師葉甜春親臨現(xiàn)場參加項(xiàng)目驗(yàn)收、華潤微電子陳南翔、張沈文等公司領(lǐng)導(dǎo)以及省市科技局的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席了本次會(huì)議。經(jīng)過任務(wù)驗(yàn)收專家組和財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家組對(duì)現(xiàn)場驗(yàn)收資料的認(rèn)真審核、質(zhì)詢和討論,驗(yàn)收組認(rèn)為項(xiàng)目任務(wù)各項(xiàng)指標(biāo)均已達(dá)到合同要求,項(xiàng)目支出符合相關(guān)管理規(guī)定,驗(yàn)收資料齊全,以任務(wù)驗(yàn)收91分的高分一致同意項(xiàng)目通過正式驗(yàn)收。
 
  MEMS技術(shù)是華潤上華經(jīng)過近6年的努力,從無到有打造的核心特殊工藝平臺(tái),已經(jīng)成為華潤微電子在國內(nèi)有影響力的一張響亮名片。此生產(chǎn)線的建設(shè)和工藝平臺(tái)的開發(fā),解決了國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中的瓶頸制約,一方面為MEMS產(chǎn)品的國產(chǎn)化作出了重要貢獻(xiàn),推動(dòng)了國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展;另一方面將在公司發(fā)展過程中起著十分關(guān)鍵的作用。它不但為公司創(chuàng)造了良好的經(jīng)濟(jì)效益,MEMS系列工藝平臺(tái)的毛利率在公司所有產(chǎn)品和技術(shù)中名列前茅;同時(shí)也是華潤上華聚焦功率半導(dǎo)體和傳感器產(chǎn)品方向的重要基礎(chǔ)。
 
  驗(yàn)收總結(jié)會(huì)上,02專項(xiàng)辦總師葉甜春對(duì)該項(xiàng)目的成功實(shí)施給予了高度評(píng)價(jià)。他說MEMS項(xiàng)目是所有02專項(xiàng)項(xiàng)目中完成情況最好的項(xiàng)目之一,得到這樣的評(píng)分并不多見。該項(xiàng)目是國家微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略布局中的重要環(huán)節(jié),華潤微電子作為項(xiàng)目牽頭單位,在項(xiàng)目實(shí)施過程中雖然遇到眾多的不解和技術(shù)難題,但通過有效地組織國內(nèi)優(yōu)質(zhì)資源,持之以恒、堅(jiān)持不懈地努力,最終取得了良好的成效,充分反映了參與項(xiàng)目的科研人員對(duì)微電子事業(yè)的追求和情懷;此項(xiàng)目也是推動(dòng)“產(chǎn)學(xué)研”合作的成功典范。項(xiàng)目整合了華潤微電子、中科院微電子所、中科院微系統(tǒng)所、北京大學(xué)和東南大學(xué)的優(yōu)質(zhì)資源和前期研究成果,實(shí)現(xiàn)了科技成果的產(chǎn)業(yè)化。最后,他希望華潤微電子站在高處放眼未來,在更高的臺(tái)階上籌劃企業(yè)的發(fā)展,成為國內(nèi)領(lǐng)先的微電子企業(yè),為中國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展作出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。
 

 
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